PfeifferAnwendung von Molekularpumpen in LOW-E-Produktionslinien
LOW-E steht für Low Emissivity Glas. Im Vergleich zu thermisch reflektierendem Glas ist es eine neue Art von energiesparendem Glas. Derzeit ist es international weit verbreitet, die Vakuummagnetrone-Spritzbeschichtungstechnik (Offline-Methode) zur Herstellung von Low-E-Glas anzuwenden. Deutsche Pfeiffer verkauft von BertonMolekularpumpeErfolgreich darauf angewendet.

PrinzipienDas Glas wird vertikal auf dem Regal platziert und in eine Vakuumumgebung mit einer Größe von 10-1 Pa eingeführt, in die angemessene Menge an Prozessgasen (Inertgas Ar oder Reaktionsgas O2, N2) eingeführt und die Vakuumstabilität aufrechterhalten. Das Ziel Ag, Si usw. wird in die Katode eingebettet und in horizontaler Richtung senkrecht zur Katode in das Magnetfeld gesetzt, um ein magnetronisches Ziel zu bilden. Mit Magnetronen als Katode, zusammen mit Gleichstrom- oder Wechselstromversorgung, unter der Wirkung von hoher Spannung ionisiert sich das Prozessgas und bildet ein Plasma. Dabei führen Elektronen unter der gemeinsamen Wirkung von elektrischen und magnetischen Feldern eine hohe Geschwindigkeit der Spiralbewegung durch, kollidieren mit Gasmolekülen und erzeugen mehr Positoren und Elektronen; Positive Ionen unter der Wirkung des elektrischen Feldes treffen auf das Katodenziel nach Erreichen einer gewissen Energie, und das gespritzte Ziel setzt sich auf die Glassubstrate ab, um eine dünne Folie zu bilden. Um eine gleichmäßige Membranschicht zu bilden, bewegt sich das Katodenziel in der Nähe der Glasoberfläche hin und her. Um eine mehrschichtige Membran zu erhalten, müssen mehrere Katoden verwendet werden, jede Katode bewegt sich auf der Glasoberfläche hin und her und bildet eine gewisse Membrandicke.

PFEIFFER gewinnt mit seiner über 120-jährigen Erfahrung in der Vakuumfertigung sowie weltweiten After-Sales-Service und technischen Support die Gunst der Kunden im LOW-E-Markt, der deutschen Pfeiffer. Von Ardenne ist der typischste Kunde. PFEIFFERMolekularpumpeDie LOE-E Produktionslinie wird in Sinyi Glas, South Glas und anderen chinesischen Glasherstellern verwendet.
PfeifferMolekularpumpeVorteile:

• Kundenauswahl mit mehreren Pumpgeschwindigkeiten von 1.000 bis 2.000 L/S
• Für H₂, Er und Ar, CF₄Mit hoher Pumpgeschwindigkeit
• Montageposition von 0 bis 90 Grad, 90 bis 180 Grad
• Hoher Gasdurchfluss, auch bei Ar, CF₄
• Integrierte TC 1200-Antriebseinheit zur direkten Stromanschluss
• Korrosionsbeständigkeit zur Auswahl
• Umfangreiche Schnittstellen: RS-485 und Fernbedienung; Profibus oder Devicenet zur Auswahl
• IP 54 und Semi S2
• Stabiles und sicheres Rotorlagersystem
• UL, CSA und TUV zertifiziert
• Einfache Installation