Shanghai Beiblu Optoelectronic Technology Co., Ltd.
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Differentialfilmdickenmesser (OPTM-Serie)
Die Differentialfilmendickenmesser (OPTM-Serie) ermöglichen die Messung der absoluten Reflexivität in kleinen Bereichen mittels Mikrospektrospektromet
Produktdetails

Messung der ** Reflexivität der Zielfolie, hohe Präzision zur Messung der Filmdicke und der optischen Konstanten! Kontaktlos · Zerstörungslos · Mikroskopie

Die Messzeit ist nur 1 Sekunde!

Die Differentialfilmendickenmesser (OPTM-Serie) ermöglichen eine hochpräzise Analyse der Filmdicke/optischen Konstanten durch die Messung der Reflexivität** in kleinen Bereichen mittels Mikrospektrospektrometer. Messung der Dicke von Beschichtungen, wie z. B. verschiedene Folien, Chips, optische Materialien und mehrschichtige Folien, auf zerstörungsfreie und berührungsfreie Weise. Hochgeschwindigkeitsmessung von bis zu 1 Sekunde/Punkt bei der Messzeit und Software zur Analyse optischer Konstanten, auch beim ersten Gebrauch

显微分光膜厚仪(OPTM系列)(图1)

Eigenschaften:

  • Der Kopf integriert die erforderlichen Funktionen zur Messung der Filmdicke

  • Hochpräzise Messung der Reflexivität durch Mikrospektrospektrometrie** (Mehrschichtmembrandicke, optische Konstante)

  • 1:1 Sekunde Hochgeschwindigkeitsmessung

  • Breites optisches System unter Differenzlicht (UV*** Near Infrared)

  • Sicherheitsmechanismus für Regionalsensoren

  • Einfacher Analyse-Assistent, auch Anfänger können optische Konstantenanalysen durchführen

  • Unabhängiger Messkopf für eine Vielzahl von Inline-Anpassungen

  • Unterstützt verschiedene Anpassungen

Messobjekte:

  • ** Reflexionsmessung

  • Multilayer-Membran-Analyse

  • Analyse optischer Konstanten (n: Brechungsgrad, k: Lichtdämpfungskoeffizient)

Anwendung:

  • Halbleiter: automatische Einstellung der Wafer-Probe, Erfassung der Wafer-Biegung

  • Optische Komponenten: Strahlungsgrad, Biegung usw. der Objektivlinse

Produktspezifikationen


OPTM-A1

OPTM-A2

OPTM-A3

Wellenlängenbereich

230 ~ 800 nm

360 ~ 1100 nm

900 ~ 1600 nm

Membrandickenbereich

1nm ~ 35μm

7nm ~ 49μm

16nm ~ 92μm

Messzeit

1 Sekunde / 1 Punkt

Fleckgröße

10 μm (*** ca. 5 μm klein)

Lichtsensoren

CCD

InGaAs

Lichtquelle Spezifikationen

Deuterium + Halogenlampe

Halogenlampe

Stromversorgungsspezifikationen

AC100V±10V 750VA (Spezifikation der automatischen Probentasche)

Größe

555(W) × 537(D) × 568(H) mm (Hauptteil der Spezifikation der automatischen Probentasche)

Gewicht

ca. 55 kg (Hauptteil der Spezifikation des automatischen Probenstands)


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