Messung der ** Reflexivität der Zielfolie, hohe Präzision zur Messung der Filmdicke und der optischen Konstanten! Kontaktlos · Zerstörungslos · Mikroskopie
Die Messzeit ist nur 1 Sekunde!
Die Differentialfilmendickenmesser (OPTM-Serie) ermöglichen eine hochpräzise Analyse der Filmdicke/optischen Konstanten durch die Messung der Reflexivität** in kleinen Bereichen mittels Mikrospektrospektrometer. Messung der Dicke von Beschichtungen, wie z. B. verschiedene Folien, Chips, optische Materialien und mehrschichtige Folien, auf zerstörungsfreie und berührungsfreie Weise. Hochgeschwindigkeitsmessung von bis zu 1 Sekunde/Punkt bei der Messzeit und Software zur Analyse optischer Konstanten, auch beim ersten Gebrauch
Eigenschaften:
Der Kopf integriert die erforderlichen Funktionen zur Messung der Filmdicke
Hochpräzise Messung der Reflexivität durch Mikrospektrospektrometrie** (Mehrschichtmembrandicke, optische Konstante)
1:1 Sekunde Hochgeschwindigkeitsmessung
Breites optisches System unter Differenzlicht (UV*** Near Infrared)
Sicherheitsmechanismus für Regionalsensoren
Einfacher Analyse-Assistent, auch Anfänger können optische Konstantenanalysen durchführen
Unabhängiger Messkopf für eine Vielzahl von Inline-Anpassungen
Unterstützt verschiedene Anpassungen
Messobjekte:
** Reflexionsmessung
Multilayer-Membran-Analyse
Analyse optischer Konstanten (n: Brechungsgrad, k: Lichtdämpfungskoeffizient)
Anwendung:
Halbleiter: automatische Einstellung der Wafer-Probe, Erfassung der Wafer-Biegung
Optische Komponenten: Strahlungsgrad, Biegung usw. der Objektivlinse
Produktspezifikationen:
OPTM-A1 |
OPTM-A2 |
OPTM-A3 |
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Wellenlängenbereich |
230 ~ 800 nm |
360 ~ 1100 nm |
900 ~ 1600 nm |
Membrandickenbereich |
1nm ~ 35μm |
7nm ~ 49μm |
16nm ~ 92μm |
Messzeit |
1 Sekunde / 1 Punkt |
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Fleckgröße |
10 μm (*** ca. 5 μm klein) |
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Lichtsensoren |
CCD |
InGaAs |
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Lichtquelle Spezifikationen |
Deuterium + Halogenlampe |
Halogenlampe |
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Stromversorgungsspezifikationen |
AC100V±10V 750VA (Spezifikation der automatischen Probentasche) |
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Größe |
555(W) × 537(D) × 568(H) mm (Hauptteil der Spezifikation der automatischen Probentasche) |
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Gewicht |
ca. 55 kg (Hauptteil der Spezifikation des automatischen Probenstands) |