Übersicht

Halbleiterherstellungsanlagen, Nanotechnologie-Zentren, Nanofabriken und andere Präzisionsherstellungs- und Forschungszentren kombinieren häufig Reinräume mit aktiven falschen Bodensystemen, um komplexe Anlagenanforderungen (Rohrleitungen, Kabel, Gasleitungen usw.) zu erfüllen und strenge Reinigungsnormen aufrechtzuerhalten. Dieser Boden ist nicht geeignet für vibrationsempfindliche Produktions-, Prüf- und Messgeräte. Der aktive Boden ist nicht in der Lage, die notwendige ruhige Vibrationsumgebung für diese Werkzeuge zu bieten. TMC's Quiet Island ersetzt einen Teil des aktiven Bodenbereichs durch eine "ruhige Insel", die auf dem unteren Boden festgelegt ist, und bietet eine innovative Lösung. Quiet Island besteht aus einer Plattformoberseite, die kompatibel mit einem Reinraum ist, und einer Anwendungs- und Feldspezifischen Stützstruktur.

Dämpfen

Die wichtigsten Unterstützungskomponenten und Kerntechnologien von Quiet Island** sind in das STACIS III aktive Dämpfungssystem integriert. Dieses "starre" Trägheitsschwächungssystem ist ideal für jedes vibrationsempfindliche Instrument und ermöglicht es, dieses Werkzeug in lauten Umgebungen mit hohen Standards zu betreiben. STACIS III ist kompatibel mit automatisierten Wafer-Bearbeitungswerkzeugen, hochauflösenden Elektronenstrahlbildbearbeitungswerkzeugen, Ionenstrahlfräswerkzeugen und allen Werkzeugen mit passiven oder aktiven internen Isolationssystemen (siehe unser Whitepaper zum Stapeln von aktiven Isolatoren auf aktive Isolatoren). Darüber hinaus bietet es eine Schwingungsisolation in einem breiten Frequenzbereich. Und das Design der "harten Installation" ist sehr hart, so dass es keine Stabilitätsprobleme bei höheren, leichten Werkzeugen gibt.

Steher und Halter

Die extrem robusten und langlebigen Stativrohre zur Unterstützung von STACIS-Isolatoren wurden vom erfahrenen Ingenieurteam von TMC entworfen und in unserem ISO 9001-Werk nach hohen Standards und Schweißzertifizierungen hergestellt. Jede Quiet Island ist für eine Vielzahl von Aktivitäten, Bodenhöhen, Bodengeometrien und Werkzeuggrößen konzipiert. TMC hat weltweit Tausende von Geräten installiert, die über 200 verschiedene Instrumentenmodelle unterstützen, und verfügt über umfangreiches Wissen und Erfahrung, um Unterstützungsstrukturen zu entwerfen, die den Anforderungen von STACIS und Ihrer Anlage gerecht werden.

Steife Plattform

Die Plattform besteht aus einer von TMC entworfenen und hergestellten 4 Zoll (100 mm) dicken Stahlplatte, die um ein leichtes, nicht komprimierbares, gedämpftes Kernmaterial herum aufgeklemmt ist. Der Schichtungseffekt, bei dem Steifplatten und Kerne mit Epoxidharz an eine nahtlose Edelstahlplatte geklebt werden, sorgt für eine extrem hohe Steifigkeit und strukturelle Dämpfung. Der große Querschnitt und der Stahlgehalt erzeugen eine sehr hohe Gesamtsteife. Die Oberseite und die Seiten sind ein kontinuierliches, integriertes Gehäuse aus Edelstahl, um Sauberkeit, Schönheit und Integrität zu erhalten. TMC kann nach Bedarf anwendungsspezifische Plattformen entwerfen und fertigen, einschließlich Schnitte, Sonderformen, Fixierlöcher und Anhängerschrauben.

Quiet Islands vs. Quiet Buildings

Designing a facility to meet the stringent Vibration Criteria of extremely precise imaging equipment can be very challenging, and often cost-prohibitive, particularly when not all tools in the facility require these very low vibration levels.[1]

Statistical representation (in terms of Mean plus Sigma Spectra) of vertical vibrations in a typical semiconductor fab production area at 'as built' and two times thereafter [2]

It is very difficult to isolate very large areas such as entire buildings, or an entire floor. It is also well documented that building vibration levels will increase relative to a design specification as the facility is populated with equipment and people. Repeated vibration measurements a few months, or a year later, show that floor vibration levels typically rise over time.[2]

The more cost effective and successful approach for achieving the stringent requirements of vibration sensitive tools, is to employ point-of use active vibration control with serial piezoelectric technology, particularly to mitigate challenging low frequency (less than 5 Hz) vibration (example here).

TMC can work with the your team to design a tool-specific Quiet Island solution. This process allows us to look at each tool specifically and provide the best performing solution. A building design incorporating one large concrete sub-floor “slab” with a “raised floor” allows for flexibility of tool selection post-construction. Replacing the raised floor with a Quiet Island only where needed provides the most sensitive tool set with a vibration environment an order of magnitude, at least, lower than the sub-floor.

See also The Benefits of Including Floor Vibration Control for Nano-Tech Facilities over Designing 'Quiet' Buildings article on AZO Nano.

1Evolving criteria for research facilities: I – Vibration, Colin Gordon Associates, SPIE Conference 5933: Buildings for Nanoscale Research and Beyond, 2005, Source

2Maturation of the Vibration Environment in Advanced Technology Facilities, Colin Gordon Associates, Journal of the IEST, V. 48, No. 1, 2005, Source

Vorteile von Quiet Island

Kompatibel mit Werkzeugen mit aktiver piezoelektrodämpfender Technologie von STACIS - TMC Industrie**, Hard-Mount-Design und Isolierung ab 0,6 Hz mit eingebauten Isolatoren.

Flexibilität bei Modularität, Anpassung und Neupositionierung - Jede Plattform ist auf die Anwendung des Kunden zugeschnitten, kann jedoch im Gegensatz zu Betonplattformen leicht neu konfiguriert werden, wenn sich Werkzeuge oder Bodeneigenschaften ändern.

Kompetenz - TMC verfügt über umfangreiche Erfahrung in der Zusammenarbeit mit Halbleiterherstellern, Forschungseinrichtungen und ultrapräzisen OEMs. Wir verstehen unsere Kunden und ihre Bedürfnisse. Wir entwerfen und produzieren selbst.

Leistung

Auf einer 24 Zoll hohen, 40 Zoll x 60 Zoll großen Quiet Island mit 4 STACIS-Ständern,
Durchsatzmessung unter VC-C-Eingang vom Boden

Spezifikationen

Leistungsspezifikationen

Isolator-Design, Größe, Umgebung und Gebrauchsanforderungen

DC-2020 Controller Spezifikationen

Weitere Parameter

SonstigesStille Insel

Große Instrumente, die keine Spezifikationen für die Umgebungsschwingung haben, benötigen in der Regel einen steifen und stabilen Halter, der vom bewegten Boden getrennt ist. Steife Quiet Island ist die ideale Lösung. Die Steife Quiet Island verfügt über die gleiche leistungsstarke Oberfläche der Plattform und kann auch maßgeschneidert für aktive Bodenreinraume in jeder Höhe, jeder Bodengeometrie und einer Vielzahl von Werkzeuggrößen konzipiert werden. TMC bietet eine Reihe verschiedener Säulentypen, um den unterschiedlichsten Anforderungen gerecht zu werden, wodurch sich eine modulare, flexible Umpositionierung und Upgrade-Lösung für Instrumente und Anlagen entwickelt.

Fotos anwenden

Dank der Installation auf unserer Quiet Island ® Komplexität, Empfindlichkeit und Wert der Geräte auf der unterirdischen Plattform: Wir erstellen keinen Standardkatalog für die BestellungNein.

Wir sind der Meinung, dass jede Plattform für eine bestimmte Anwendung maßgeschneidert werden sollte. Die empfohlenen Bestellschritte sind wie folgt:

▪ Sagen Sie uns, welche Geräte oder Instrumente Sie isolieren möchten. Da wir Tausende von Geräten installiert haben, haben wir möglicherweise bereits eine Plattform, die den Anforderungen Ihrer Anwendung entspricht. Darüber hinaus unterhalten wir enge Kontakte zu den Herstellern von Schrittgeräten, Ausrichtern, SEM und anderen Werkzeugen, so dass wir über neue Größen, Formen, Gewichtsänderungen und Spezifikationen für Bodenschwingungen informiert sind.

▪ Oder Sie möchten vielleicht eine Plattform, die sich für ein aktives Bodenrättersystem eignet. Die Kunden wählen in der Regel eine Plattform von 47 x 47 Zoll (1.190 x 1.190 mm) als Ersatz für die gleichzahligen Fliesen.

▪ Erzählen Sie uns, dass Ihr Aktionsboden höher als der feste Boden ist.

▪ Bitte beschreiben oder liefern Sie uns eine Illustration, die jedes Lochmuster in Ihrer Boden- oder Stahlbalken-/Gittergeometrie zeigt.

▪ Bitte geben Sie uns Erdschwingungsdaten oder besprechen Sie mit uns, wie Sie diese Daten messen können.

▪ Berücksichtigen Sie die Schwingungsempfindlichkeit des Instruments. Unser starres, nicht-resonantes Säulendesign bietet eine ausreichende Unterstützung für viele Werkzeuge. Empfindlichere Anwendungen erfordern Luft- oder piezoelektrische Unterstützung