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Helium-Ionen-Chromatometer für Tetrafluorkohlenantalyse
Helium-Ionen-Chromatogrammeter sind für die Detektion von Spuren von Verunreinigungen in Elektronikgasen geeignet, mit einer kleinen Detektionskonzent
Produktdetails
- Produktbeschreibung
Helium-Ionen-Chromatometer für TetrafluorkohlenantalyseAusgestattet mit einem hochempfindlichen Helium-Ionisierungs-Detektor, mit der Zentralschnitttechnologie von Huaei, sind alle Probenventile mit Blassschutzluftwegen ausgestattet; Die gesamte Maschine ist mit mehreren Säulen ausgestattet und ist mit einem automatischen Eingangsdruckkorrektursystem ausgestattet, um die Eingangsmenge von Proben aus verschiedenen Grundgasen zu gewährleisten. Die Produkte erhielten die Auszeichnung Shanghai High-Tech-Erfolge Umwandlung A-Klasse-Projekt.
| Projekte | Indikatoren | ||
| Tetrafluorkohlenstoff (CF)4Reinheit (Volumenfraktionen) / 10-2≥ | 99.999 | 99.995 | 99.99 |
| Stickstoff (N)2Gehalt (Volumenfraktionen)/10-6＜ | 4 | 20 | 40 |
| Sauerstoff + Argon (O)2+ Ar) Gehalt (Volumenfraktionen) / 10-6＜ | 1 | 5 | 10 |
| Kohlendioxid (CO)2Gehalt (Volumenfraktionen)/10-6＜ | 1 | 5 | 10 |
| Kohlenmonoxidgehalt (CO) / 10-6＜ | 0.1 | 0.5 | 1 |
| Schwefelhexafluorid (SF)6Gehalt (Volumenfraktionen)/10-6＜ | 1 | 1 | 5 |
| Feuchtigkeit (H)2o) Gehalt (Volumenfraktionen) / Gehalt, 10-6＜ | 3 | 5 | 10 |
| Säure (in HF) Gehalt (Volumenfraktionen) / 10-6＜ | 0.1 | 0.3 | 0.3 |
| Andere HalogenkohlenstoffeaGehalt (Volumenfraktionen)/10-6＜ | 1 | 10 | 30 |
| Gesamtgehalt an Verunreinigungen (Volumenfraktionen) / l0-6 ≤ | 10 | 50 | 10 |
| Partikel | Angebot und Nachfrage vereinbart | Angebot und Nachfrage vereinbart | Angebot und Nachfrage vereinbart |
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Andere Halogenkohlenstoffe sind: Hexafluorethan, Octafloropropan usw.
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