Das induktiv gekoppelte Plasmamassenspektrum (ICP-MS) ist eine neue Technologie zur Analyse anorganischer Elemente und Isotope, die fast alle Elemente der Periodischen Tabelle schnell und gleichzeitig erkennen kann. Die ICP-MS-Technologie übertrifft die herkömmlichen anorganischen Analysetechnologien wie induktiv gekoppeltes Plasma-Spektrum-Technologie (ICPAES), Graphenofenatomabsorption (GFAAS) und Quecksilberkalte Atomabsorption (CVAAS) zusammen und ist als die spannendste Entwicklung der modernen Analysetechnologie bekannt.

Die Anwendungsbereiche der Agilent ICP-MS Technologie umfassen:
• Umweltprobenanalyse, einschließlich der Analyse von Leitungswasser, Oberflächenwasser, Grundwasser, Meerwasser und verschiedenen Böden, Abfällen usw.;
• Analyse von Halbleitermaterialien
• Probenanalyse von Glas, Keramik und Metallurgie;
• Geologische Forschung;
• biologische Lebensmittel und medizinische klinische Forschung;
• Analyse von Kernmaterialien
• Probenanalyse in der petrochemischen Industrie;
• Forensische Anwendungen und Forschung;
Kürzlich wurde die Elementpreisanalyse und die Morphologie in den Bereichen Umwelttoxizität und Biowissenschaften in Verbindung mit der Trennungstechnik zum Schwerpunkt der Anwendung der ICP-MS-Technologie.
ICP-MS Analyseeigenschaften:
Fast alle Elemente der Periodischen Tabelle schnell und gleichzeitig erkennen
Mindestdetektionsgrenzen (bis zu ppq)
Optimale Analyse des Nutzen/Kostenverhältnisses
Breites lineares Dynamikbereich – Konzentrationen von ppq bis zu hunderten ppm können direkt erfasst werden
● Einfachste Spektralität, minimale Störungen, Genauigkeit und Präzision
• Niedriges Probenvolumen (ul bis ml) und schnelle Analysegeschwindigkeit (1 bis 3 Minuten/Probe)
Flexible und vielfältige Prüfmuster
Analyse von Superspurschadstoffen in häufigen Materialien für die Halbleiterindustrie:
Feststoff: Si; GaAa Einkristallschneide; Ofenmaterialien wie Quarz, Siliziumkarbid; Hochreine Metallelektroden usw.
Flüssigkeit: Ultrareines Wasser; HF;HNO3; HCI; H2SO4; H2O2; Ammoniak usw.
Gas: SiH4; TE0S; NF3; N2 usw.
Agilent ICP-MS ermöglicht die direkte Analyse von organischen Proben:
Die hochleistungsstarke, leistungsstarke Schirmrektkalte Plasma-Technologie von Agilent ICP-MS wurde bereits für die Messung von Spurenelementen auf ppt-Ebene in einer Reihe von organischen Proben eingesetzt.
Bei einigen dieser Proben können andere Methoden keine zufriedenstellenden Ergebnisse erzielen, und die Hochleistungsschirmung mit rektkaltem Plasma ist die einzige Analysemethode.
• starke alkalische Reinigungsmittel - Tetramethylammoniakhydroxid (TMAH) etc.
● Häufig verwendete organische Lösungsmittel - Ethanol, Diphenyl, IPA usw.
● High-Matrix-Proben - Leimkleb, Flüssigkristalle, BPSG, PSG und andere flüchtige Reinigungsmittel - Aceton, Methanol usw.